适用于精密加工机械、精密测量仪器、局部温度控制等。
+0.1°C 无加热器(可节能 70%)
风冷排热低(排热减少 50%)
由于排出的热量较少,因此减少了环境温度的升高,这是精密加工中的一个问题。 (通过热泵平衡控制,将排热能源代替加热器用作热源,因此与加热器PID控制方法相比,排热减少了50%。)
可靠的排水
泄放器采用电磁式,保证泄放。
精密加工机
精密计测机
半导体・FPD制造装置
分析机器
精密涂装机
局部空间精准控温
工件和测量对象的温度控制
精密机械用气动主轴
3D测量机气动滑轨