凭借电子冷却的响应性和我们独特的高精度控制器，可以实现高精度温度控制。
对测量仪器的热应变进行超精密加工和高精度控制，发挥母机的性能。

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设定值显示

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开/关

各种设置键

低震动、低噪声

与使用压缩机的制冷方式不同，制冷在动力部分产生的振动很小，因此可以将振动和噪音对微细加工定位精度的影响降至很低。

用于各种目的

精密加工机、精密计测机、分析机器、精密涂装机、精密机械用空气轴承、3D测量机气动滑轨、半导体・FPD制造装置、局部空间精准控温、工件和测量对象的温度控制